| 立式接触式干涉仪
本仪器是一种采用量块或标准零件借以高精度的比较方式的立式精密长度计量仪器。主要用于150mm以下块规,亦可用作高精密度的长度和外径的精密测量,是各级计量室的基本长度计量仪器之一。
技术规格
被测件最大长度Max. measured length 150 mm
工作台行程Lifting range of worktable 5 mm
测杆移动范围 0.5mm
分划板刻度范围 ±50格
直接测量范围Measuring range 5-20μm
分度值调整范围Adjusting range of grad 0.05-0.2 μm
推荐使用分度值Recommended grad 0.1 μm
测量压力Measuring force (1.5±0.1) N
仪器示值稳定性Indication reliability 0.02 μm
仪器误差 数字显示
最大测量误差Max.measurement error
n 是格数, i是格值,λ是滤光片中心波长,△λ是滤光片波长误差
标准配件Standard attachments 五筋园台Five-Rib circular stage九筋玛瑙台Agate stage可调园平台Adjustable planar stage辅助台Auxiliary stage, fixed平面测帽Planar contact tip, Ф2小球面测帽Small spherical contact tip干涉滤光片 Wavelength filter
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